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Solar-Cell(NPS)

고안정 RF 제어와 다중 파라미터 동시 보정 알고리즘을 통해
​Perovskite 박막의 균일도 및 재현성을 확보하는 제어 시스템입니다.
NEW PLASMA SOURCE SYSTEM
경쟁력

​밀도를 제어하고, 균일도를 관리하며,
양산 품질을 안정화합니다.
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Power & Plasma Layer
  1. RF Generator
  2. Matching network
  3. Bias Power Supply
  4. Arc Dection module
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Process Control Layer (PLC)
  1. High-Speed CPU
  2. Analog I/O (Pressure/ RF Monitor/ Temp)
  3. Digital I/O (Interlock/ Valve/ Pump)
  4. PID Closed Loop Module
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Supervisory Layer
  1. HMI
  2. Recipe Manager
  3. Data Logging Server
  4. MES Interface (SECS/ GEM)
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Safety Layer
  1. HV Interlock
  2. Door/ Vacuum Interlock
  3. Gas Leak Shutoff
  4. Emergency Hand Cut​
New Plasma Source

​Plasma Ignition 
Stabilization Logic
SETP 1
Vacuum Check
  1. RF GeneratorPressure <  Setpoint 확인
  2. Cooling Flow 정상 확인
  3. Gas Line Purge 완료
  4. 이상 시 Plasma Start 금지
SETP 2
Soft Start Sequence
  1. RF Power 10~20% Ramp Up
  2. Maching Network Auto Turn
  3. Arc Monitor 활성화
SETP 3
Closed Loop Stabilization
  1. RF Forward/ Reflected Power 모니터링
  2. Pressure PID 제어
  3. MFC Flow 동시 보정
SETP 4
Real-Time Monitoring
  1. Arc 발생 시 10ms 이내 Power Cut
  2. Refleted Power 임계치 초과 시 Auto Re-Turn
  3. Abnomal Density Trend 감지 시 Alarm​
SETP 5
Deposition Control
  1. Recipe 기반 Step 진행
  2. Time/ Thickness 기반 종료
  3. Cooling 안정화 후 Plasma Off